Kaukių geometrijos evoliucija ėsdinimo procesuose

Navickas, Romualdas; Čiulada, Rimas

Use this url to cite publication: https://hdl.handle.net/20.500.14911/133161

Kaukių geometrijos evoliucija ėsdinimo procesuose

Details

Publication Type (CRIS)

Straipsnis kitame recenzuojamame leidinyje / Article in other peer-reviewed edition (S5)

Publication Type (eLABa)

Straipsnis kitame recenzuotame leidinyje / Article in other peer-reviewed publication (S4)

Author(s)

Author	Affiliation
Navickas, Romualdas	Elektroninių sistemų katedra / Department of Electronic Systems (0549)
Čiulada, Rimas	Elektroninių sistemų katedra / Department of Electronic Systems (0549)

Title

Kaukių geometrijos evoliucija ėsdinimo procesuose

[lt]

R. Navickas, R. Čiulada

Is part of

Elektronika ir elektrotechnika

Published In

Year	Issue	Start Page	End Page
2003	1(43)	56	60

Publisher

Kaunas : Technologija

Extent

p. 56-60

URI

URI
https://hdl.handle.net/20.500.14911/133161

Science / Art Area

Technologijos mokslai / Technological sciences (T)

Field of Science / Art

Elektros ir elektronikos inžinerija / Electrical and electronic engineering (T001)

Abstract (lt)

Integrinių grandynų ir puslaidininkių prietaisų technologinių kaukių geometrijos keitimasis ėsdinimo procesų metu buvo modeliuojamas programa, sukurta MATLAB 6.5 pagrindu. Pradinė kaukės konfigūracija, jos ėsdinimo selektyvumas ir trukmė turi įtakos geometrijos evoliucijai ir gaunamų mikro- ir nanostruktūrų matmenims. Gauti rezultatai leidžia analizuoti ir projektuoti naujus technologinius procesus ir /arba integrinių grandynų komponentų topologijas.