Применение высокочастотных и вихревых явлений для бесконтактной диагностики полупроводников

Laurinavičius, Laimis; Jankauskas, Zigmantas

Use this URL to cite this publication: https://hdl.handle.net/20.500.14911/133544

Применение высокочастотных и вихревых явлений для бесконтактной диагностики полупроводников

Details

Publication Type (CRIS)

Straipsnis recenzuojamoje užsienio konferencijos medžiagoje / Article in peer-reviewed foreign conference proceedings (P1g)

Publication Type (eLABa)

Straipsnis recenzuotame konferencijos darbų leidinyje / Article published in peer-reviewed conference proceedings (P1d)

Author(s)

Author	Affiliation
Laurinavičius, Laimis	Elektros inžinerijos katedra / Department of Electrical Engineering (0558)
Jankauskas, Zigmantas	Elektros inžinerijos katedra / Department of Electrical Engineering (0558)

Title

Применение высокочастотных и вихревых явлений для бесконтактной диагностики полупроводников

[ru]

Лаймис Лауринавичюс, Зигмундас Янкаускас

Title in other language

Use of HF waves and vortical phenomenon in non-contact testing of semiconductors

[en]

Is part of

VI krajowe sympozjum pomiarów magnetycznych : prace Komisji metrologii oddziału PAN w Katowicach. Seria: Konferencje Nr 3

Published In

Year	Start Page	End Page
2000	258	262

Publisher

Katowice : Komisja metrologii oddziału PAN w Katowicach, 2000

Extent

p. 258-262

URI

URI
https://hdl.handle.net/20.500.14911/133544

Science / Art Area

Technologijos mokslai / Technological sciences (T)

Field of Science / Art

Elektros ir elektronikos inžinerija / Electrical and electronic engineering (T001)

Abstract (en)

Предложен простой, неразрушающий бесконтакный метод и устройство для производственного контроля выращенных полупроводниковых слитков узкозонного полупроводника, основанный на вихревых явлениях и размерном резонансе электромагнитной магнитоплазменной волны. Для создания слабого переменного магнитного поля используется трансформаторный датчик с накладными обмотками специальной формы, а для создания постоянного магнитного поля служит электромагнит. Устройство использовано для экспресс-контроля концентрации и подвижности носителей тока в полупроводниковом монокристалле n-InSb.