Integrinių grandynų technologiniai procesai: mokomoji knyga

Marcinkevičius, Albinas Jonas

Use this URL to cite this publication: https://hdl.handle.net/20.500.14911/123248

Integrinių grandynų technologiniai procesai: mokomoji knyga

Details

Publication Type (CRIS)

Mokomoji knyga / Educational book (K2b)

Publication Type (eLABa)

Mokomoji knyga / Educational book (K2b)

Author(s)

Title

Integrinių grandynų technologiniai procesai: mokomoji knyga

[lt]

Albinas Marcinkevičius ; Vilniaus Gedimino technikos universitetas

Published In

Year
1999

Publisher

Vilnius : Technika

Extent

157 p.

URI

URI
https://hdl.handle.net/20.500.14911/123248

Cited references

Science / Art Area

Technologijos mokslai / Technological sciences (T)

Field of Science / Art

Elektros ir elektronikos inžinerija / Electrical and electronic engineering (T001)

Abstract (lt)

Knygoje pateiktos žinios apie silicio puslaidininkinių integrinių grandynų gamybos technologinių procesų fizikinius principus ir parametrų skaičiavimą. Išnagrinėti silicio monokristalų auginimo, plokštelių paruošimo, epitaksinių puslaidininkinių sluoksnių auginimo, legiravimo, jonų implantacijos, paviršiaus dengimo dielektriku, projekcinės fotolitografijos, rentgeno litografijos, elektronų litografijos, jonų litografijos ir plazminio ėsdinimo procesai, taip pat jų taikymas integrinių grandynų gamyboje. Leidinys skirtas elektronikos pagrindinių studijų studentams, magistrantams ir specialistams, besidomintiems puslaidininkinių integrinių grandynų gamybos technologija.