Fizikiniai mikroelektronikos pagrindai. III dalis: Fizinės chemijos pagrindai: mokomoji knygelė

Štaras, Stanislovas; Kirvaitis, Raimundas

Use this url to cite publication: https://hdl.handle.net/20.500.14911/115361

Fizikiniai mikroelektronikos pagrindai. III dalis: Fizinės chemijos pagrindai: mokomoji knygelė

Details

Publication Type (CRIS)

Mokymo ir metodinė priemonė / Educational and methodical tool (K2c)

Publication Type (eLABa)

Metodinė priemonė / Methodical handbook (K2c)

Author(s)

Author	Affiliation
Štaras, Stanislovas	Elektroninių sistemų katedra / Department of Electronic Systems (0549)
Kirvaitis, Raimundas	Elektroninių sistemų katedra / Department of Electronic Systems (0549)

Title

Fizikiniai mikroelektronikos pagrindai. III dalis: Fizinės chemijos pagrindai: mokomoji knygelė

[lt]

S. Štaras, R. Kirvaitis ; Vilniaus technikos universitetas

Published In

Year
1991

Publisher

Vilnius : Technika

Extent

83 p.

URI

URI
https://hdl.handle.net/20.500.14911/115361

Cited references

Science / Art Area

Technologijos mokslai / Technological sciences (T)

Field of Science / Art

Elektros ir elektronikos inžinerija / Electrical and electronic engineering (T001)

Chemijos inžinerija / Chemical engineering (T005)

Abstract (lt)

Leidinys skirtas radioelektronikos specialybės studentams. Pirmojoje leidinio dalyje (I - 7 skyriuose) nagrinėjami puslaidininkių fizikos klausimai, antrojoje (8 .. 12 skyriuose) - puslaidininkiniai prietaisai. Šioje - trečiojoje – dalyje, siekiant geriau pasirengti puslaidininkinių integralinių mikroschemų gamybos procesų nagrinėjimui, pateikiami fizikinės chemijos pagrindai.