Use this URL to cite this publication: https://hdl.handle.net/20.500.14911/129689
Эволюция микроструктур масок в процессах поперечного травления
Publication Type (CRIS)
Straipsnis kitame recenzuojamame leidinyje / Article in other peer-reviewed edition (S5)
Publication Type (eLABa)
Straipsnis kitame recenzuotame leidinyje / Article in other peer-reviewed publication (S4)
Author(s)
Title
Эволюция микроструктур масок в процессах поперечного травления
Р. Навицкас
Is part of
Электроника и связь : научно-технический журнал
Published In
| Year | Start Page | End Page |
|---|---|---|
2001 | 34 | 36 |
Publisher
Киев : КПI
Extent
p. 34-36
Science / Art Area
Technologijos mokslai / Technological sciences (T)
Field of Science / Art
Elektros ir elektronikos inžinerija / Electrical and electronic engineering (T001)
Resource Type (COAR)
TextJournalJournal articleResearch article
Language
Rusų / Russian (ru)
Country
Ukraina / Ukraine (UA)
Owning collection
ISSN (of the container)
1811-4512
eLABa ID
3582400