Моделирование эволюции микроструктур в процессах поперечного травления

Navickas, Romualdas

Use this URL to cite this publication: https://hdl.handle.net/20.500.14911/137537

Моделирование эволюции микроструктур в процессах поперечного травления

Details

Publication Type (CRIS)

Straipsnis kitame recenzuojamame leidinyje / Article in other peer-reviewed edition (S5)

Publication Type (eLABa)

Straipsnis kitame recenzuotame leidinyje / Article in other peer-reviewed publication (S4)

Author(s)

Title

Моделирование эволюции микроструктур в процессах поперечного травления

[ru]

Р. Навицкас

Is part of

Электроника и связь : научно-технический журнал

Published In

Year	Start Page	End Page
2004	108	111

Publisher

Киев : КПI

Extent

p. 108-111

URI

URI
https://hdl.handle.net/20.500.14911/137537

Science / Art Area

Technologijos mokslai / Technological sciences (T)

Field of Science / Art

Elektros ir elektronikos inžinerija / Electrical and electronic engineering (T001)

Abstract (lt)

В самосовмещающихся технологиях изготовления интегральных схем, биомедицинских и других микросистем геометрия микро- и наноструктур часто изменяется процессами поперечного травления. Для моделирования геометрии микроструктур применена новая компютерная моделб-программа SLEM, основная на програмном пакете МАТLAB 6.5. [...].